等離子體基低能離子注入技術的研究與發展
作 者： 雷明凱 作者單位： 刊 名： 真空科學與技術學報 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 1999 19(4) 分類號： 關鍵詞：【等離子體基低能離子注入技術的研究與發展】相關文章：
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