硅微技術在導航、制導與控制中的應用及發展趨勢
主要對近幾年來微機電系統的技術進步和應用情況作了介紹,特別對基于微機電技術的敏感器和執行機構在航空和航天領域的導航、制導和控制方面的應用進展作了較為詳細的敘述,最后指出了MEMS技術的發展趨勢和目前正在突破的關鍵技術.
作 者： 周鳳岐 劉智平 周軍 ZHOU Feng-qi LIU Zhi-ping ZHOU Jun 作者單位： 西北工業大學,航天學院,陜西,西安,710072 刊 名： 測控技術 ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2007 26(3) 分類號： V241 關鍵詞： 硅微敏感器 導航、制導與控制 執行機構 噪聲模型【硅微技術在導航、制導與控制中的應用及發展趨勢】相關文章：
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